根（gēn）據《建設項目竣工環（huán）境保護驗收管理辦法》、《關於規（guī）範建設（shè）單位自主開展建設項目竣工環境保護驗收的通知（征求意見稿）》、《建設項目竣工環境保護驗收（shōu）技術（shù）指南 汙染影響類（lèi）》等有關規定（dìng），建設（shè）單位於2024年09月06日組織驗收組踏勘了建設項目現場，對驗收監測報告進行了審查，提（tí）出了驗收意（yì）見。為更好地（dì）做好本項目的環境保護工作，現對（duì）該項目竣（jun4）工環境保護（hù）驗收報告及驗收意見進（jìn）行公示。

一、項（xiàng）目簡介

蘇州長光華（huá）芯半導體激光創新研究院有限公司（以（yǐ）下簡稱公司）成立於2018年3月，由蘇州長光華芯光電技術有限公司（以下簡稱長光（guāng）華芯光電公司）與蘇州（zhōu）高（gāo）新區政府共同創立，位於蘇州高新區科技城（chéng）漓江（jiāng）路56號，主要進行半導體光電器件及係統的開發研（yán）究及生產，包括薄膜外延生長、芯片加工、光電器件製（zhì）作、光（guāng）學模塊、光電係統集成。

半導體激光器是本項（xiàng）目產品之一，又稱激（jī）光二極管，是用（yòng）半導體材料作為工作（zuò）物質的激光器。它體積小、壽命（mìng）長（zhǎng），在（zài）激光通信、光存儲、光陀螺、激（jī）光打印、測距以及雷達等方麵（miàn）已經獲（huò）得了廣泛（fàn）的（de）應用（yòng）。其工作原理（lǐ）是（shì）通過一定（dìng）的激勵方（fāng）式，在半導體物質的能（néng）帶（導帶與價帶）之間，或者半導體物質的能帶（dài）與雜質（受主（zhǔ）或施主）能級之間，實現非平衡載流子的粒子數反轉，當處（chù）於粒（lì）子數反轉狀態的大量電子與空穴複合時便產生受激發射作（zuò）用。高能激光發（fā）展的核心之一是半導體激光器，2017年半導體激光器中（zhōng）國市場收入較2016年增長15.5%，達到21.9億美元（yuán）。中國作為（wéi）全球最大製造國，我國芯（xīn）片主要（yào）依賴國外進口，特別是在高速光（guāng）通訊、3D傳（chuán）感等蓬勃發展的領域（yù）中。作為全球最大的消費市場，我國對（duì）於芯片產業有各種（zhǒng）不同的需求，對於低端芯片需（xū）求量也非常大，芯片的進口嚴重阻礙了我國的（de）高新技術產業的發展。在當下科技（jì）競爭的背景下，發展芯片產業具有一定的緊迫（pò）性，過程會很曲折，但是隻有將核“芯”技術掌握在自己（jǐ）手中才是硬道理。為了解決我國高功率半導體激光器芯片及器件的“空心化”問題，公司利用蘇州長（zhǎng）光華芯光電技術（shù）有（yǒu）限公司已有的高功率半導體激光芯片優勢，積極向（xiàng）激光3D傳感芯（xīn）片，高速光通信（xìn）芯（xīn）片、激光照明等方向（xiàng）與領域拓展（zhǎn），全麵打造（zào）中國激光芯。因此，蘇州長光華（huá）芯半導（dǎo）體激光創新研究院有限公司投資20000萬元建設年產芯（xīn）片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統1000台項目（mù）。

環評審批過程：本項目投資20000萬元進行年產芯片3億件、光電器（qì）件100萬件、光學模塊5萬件、光電（diàn）係統1000台項目建設。項（xiàng）目已通過蘇州高新區經濟發展和改革局備案，項目代碼為2018-320505-39-03-550372。2019年11月，企（qǐ）業委托蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編製了《蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學（xué）模塊5萬件、光電係統1000台項目環境影響（xiǎng）報告表》，並於2020年2月4日取得蘇州市行政審批局的審批意見（蘇行審環評[2020]90054號（hào））。

驗收（shōu）工作的開（kāi）展：2024年7月（yuè）17日-18日、8月7日-8日和8月26日-27日，公司委托蘇州環優檢測有限公司及江蘇德昊檢測技術服務有限公司對“蘇州長光華芯半導體（tǐ）激光創新研究院有限公司年產芯片3億（yì）件、光（guāng）電器件100萬件（jiàn）、光學模塊5萬件、光電係統1000台項目”進行驗收監（jiān）測，根據驗收（shōu）監測結果及現場情況進行自主驗收，由蘇州市宏宇環境科（kē）技股份有限公司編製驗收調查報（bào）告。

變動情況：對照環評，本（běn）項目驗收氮氣櫃數量較環評增加6台，光刻、濕法刻蝕工段各式測試儀數量較（jiào）環評增加7台，以上均為輔助設備：此外（wài），在生產工藝無變化的前提下，襯底原料用5kg氮化镓替代砷化镓，濕法刻蝕工段使用環評未涉及的氫氧化銨；

環評中外延工序產生少量未反應氣體（磷烷（wán）、砷烷、矽（guī）烷、氨氣）和反應生成氣體（甲烷、顆粒物（wù））通過設備配套過濾器處理後（hòu），經管道輸送至洗滌塔一級處理（其中氨（ān）氣為堿性，單獨進入氨氣（qì）洗滌塔），再進（jìn）入堿液噴淋塔二級處理，最後經2#生產樓屋頂的25米排氣筒P1排放；

項目實際從（cóng）安全角度考慮，2台以（yǐ）氮化（huà）镓襯底原料、氨氣為反應氣體的外延工序廢氣經水噴淋預處理，和酸性廢氣以（yǐ）及（jí）設（shè）備（bèi）自帶（dài）過濾器-燃燒器預處理的外延工段少量未反應完的矽烷氣體（磷烷、砷（shēn）烷、矽烷、氨氣）和反應生（shēng）成氣體（甲烷、顆粒物（wù））一同匯入堿液噴淋塔裝置處理，尾氣由2#生產樓屋頂的25米排氣（qì）筒P1排放；其餘16台化（huà）學氣相外延MOCVD設備中每4台設備對應一套二級加藥噴淋裝置（加入（rù）次氯酸（suān）鈉、氫氧化鈉、磷酸藥劑）（共設置5套，4用1備）處理後通過4根25米高排氣筒排放（P3、P4、P5、P6，此外（wài）P7為備用處理設施對應排氣筒），且設（shè）置砷烷（wán）、磷烷排放在線（xiàn）監控（kòng）報警係統；使用砷烷、磷烷的外延廢氣經管（guǎn）道輸送至洗滌塔（tǎ）和二級加藥噴（pēn）淋裝置處（chù）理，尾氣由2#生產樓屋頂的25米（mǐ）排氣筒P3、P4、P5、P6排放；

此外，項目（mù）實際對危廢中代碼有誤（有機廢液（yè））、代碼變更（廢氣處理失效活性炭）、產生量有偏差（刻蝕廢液）、定義有（yǒu）誤（光催化UV燈管）、遺漏（氫氧化銨廢堿液）等問題一並進行變動修正。

公司於2023年12月委托蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編製《蘇州（zhōu）長光華芯半（bàn）導體激光創（chuàng）新研（yán）究院有限（xiàn）公司年產芯片3億件、光電器（qì）件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統1000台（tái）項目一般變（biàn）動環境影響分析報（bào）告》，並對廢氣處理設施的變更進行了專（zhuān）家評（píng）審，對照《汙染物影響類（lèi）建設項（xiàng）目重（chóng）大變動清單（試行）》（環（huán）辦環評函（hán）〔2020〕688號），明確以上不（bú）屬於重大變動，納入驗收範圍。

（1）廢水

公司廠區雨汙水分流，項目生產廢（fèi）水主要為一般酸（suān）堿廢水、含砷廢水（shuǐ）、含砷拋光廢水、含砷研磨廢水、含氟廢水、含氮磷廢水、有機廢水、公輔廢水以及生活汙水，其中：

一般酸堿（jiǎn）廢水經中（zhōng）和預處理後（hòu），同公輔廢水（shuǐ）（製純濃水、冷卻排水）、食堂廢水（經隔油（yóu）預處理）和生活汙水一並通過市政管網接（jiē）入科技城水質淨化廠統一處理，尾水排入滸東運河；

含氟廢水（包括堿液噴（pēn）淋廢水）經（jīng）化學沉澱-砂濾（lǜ）-樹脂交換預處理；有（yǒu）機（jī）廢水（shuǐ）和含氮廢水經高（gāo）級氧化-生物反應槽預處理；含砷研（yán）磨廢水經（jīng）超濾和砂濾預處理後與經超濾和RO處理後的含砷（shēn）拋光廢水一並進入化學沉澱預處理；其他含砷廢水和（hé）含氮磷廢水經化學（xué）沉澱（diàn）預處理；以（yǐ）上預處（chù）理後的廢（fèi）水（shuǐ）合並進入三效蒸發係統處理，出水經RO後回（huí）用生產係（xì）統（純水製備），無外排；濃水委外處理；

公司設置900m3的消防尾水池（事故應急水池），並在兩個雨水排口設置應（yīng）急截止閥門。

（2）廢氣

本項目矽烷外延尾（wěi）氣經過濾+燃燒器+堿液噴淋塔預處（chù）理；酸洗、刻蝕等工段酸性廢氣由2套並聯堿液噴淋塔預處理；氧化尾氣由設備密閉收集後（hòu）進入設（shè）備自帶過濾器+燃燒器預處理，以上預處理後的廢氣合並由25m高的P1排氣筒排放；

有機廢氣集氣罩收集（jí）後，經2套光催化氧化+活性（xìng）炭吸附裝置處理（1用1備（bèi）），尾氣由25m高的P2排氣筒（tǒng）排放（fàng）；

砷烷、磷烷使用工序產生的廢氣由設備密閉（bì）收集，經五套（四用一備）過濾+二級加藥噴淋裝置處理後，分別通過（guò）25m高的P3、P4、P5、P6、P7（備用）排氣筒達標排（pái）放；

以（yǐ）上環節未（wèi）收集到的廢氣車（chē）間無組織外排。封裝、回流工段產生的焊接煙塵（chén）采用集氣罩收集後經焊煙淨化器處理（lǐ）後無組織排放，產生量較少，忽略不（bú）計。

項目以廠（chǎng）界邊界為起點設置100米衛生防護距離，目前以上範圍（wéi）內（nèi）無居民等環境（jìng）敏感點。

此外，項（xiàng）目設置3個25m排氣筒用於車間（jiān）內強排風及熱（rè）排風；食堂油煙經油煙淨化器處理（lǐ）後屋頂外排。

（3）噪聲

本項目（mù）噪聲主要為各類研磨、焊接、切割、打磨等（děng）設備和（hé）空（kōng）壓機、廢氣處理風機等運行產生的噪聲，企業通過隔聲、減振和（hé）距離衰減等措施，噪聲可以得到（dào）一定（dìng）程度的削弱，減小對周圍的環境影響。

（4）固體廢棄物

本項目產生的固體廢物主要為危險固廢、一（yī）般工業固（gù）廢、生活垃圾。其（qí）中：

危險廢物中的廢去光膠劑、廢去光膠劑、廢顯影液、酸洗廢（fèi）液、有機廢液委托蘇州新區環保服務中心有限公司處置；廢燈管、刻蝕廢液委托蘇州步陽環（huán）保科技（jì）有限公司處置；刻蝕槽（cáo）清（qīng）洗廢液、碳化塗層、廢濾芯、晶（jīng）圓邊角料、無（wú）塵布、危（wēi）險廢物包裝、廢（fèi）活性（xìng）炭、含氟汙泥、含砷汙泥、廢鹽渣、廢濾膜、廢反滲透膜、廢堿液（yè）、在線監（jiān）測（cè）廢液委托蘇州新區環保服務（wù）中心有限公司處置；

項（xiàng）目設置麵積（jī）30m2的危廢倉庫，位於廠區東（dōng）南角，建設符合《危險廢物貯存汙（wū）染（rǎn）控製標準》（GB18597-2023）的要求。

一般工業固廢主要為（wéi）廢金屬靶材、殘餘鍍料、殘餘鍍料、不合格品、一般廢包裝（zhuāng），收集後定（dìng）期委托州鑫（xīn）雨豐環保科技有限公司綜合利用。

項（xiàng）目設置麵積100m²的一般固廢倉庫，位於廠區東北角，一般工（gōng）業固體廢（fèi）物貯存基本滿足《一般工業固體廢（fèi）物（wù）貯存和填埋標準》（GB 18599-2020）。

項目生活垃（lā）圾、餐廚（chú）垃圾由蘇州鑫雨豐環保科技有限公司收集（jí）外運處理，日產日清。

二、建設單位名稱和聯係方（fāng）式

建設單位：蘇州（zhōu）長光華芯半導體激光創（chuàng）新研究院有限公（gōng）司

建設地（dì）點：蘇州高新區科技城漓（lí）江路56號

聯係人：韋工

聯係電話：17312540120

郵編：215299

三（sān）、征求公眾意見的主（zhǔ）要事項（xiàng）

（1）請（qǐng）公眾提供個人準確信息主要包括：姓名、職業、文化程度、家庭住（zhù）址（zhǐ）及聯係電話；

（2）根據您掌握的情況，認為該項目運營對環境質量（liàng）造成的危害/影響方麵及程度；

（3）您是否知（zhī）道/了解在該（gāi）地區建（jiàn）設該項目；

（4）您認為該項目對環境造成的（de）危害/影響程度；

（5）您對該項目環保方麵有何建議和（hé）要求；

（6）從環保角度出發，您對該項目持何種態度，並簡要說明原因。

四、公眾提（tí）出意見的主要方式

    公眾可以通過以下方式提供意見：

（1）通過Email方式

（2）直接（jiē）打電話的方式（shì）

（3）寫信的方式

五、公示時間

公眾（zhòng）可在本項目公（gōng）示之日起20個工作日內，向建設單位（wèi）或驗收調查機構提出（chū）寶貴意（yì）見。

《蘇州長光華芯半導體激光（guāng）創（chuàng）新研究院有限公司年產芯片3億件、光電器（qì）件100萬件、光學模塊5萬件、光電係統（tǒng）1000台項目竣工環境保護驗收調查表》公示期：2024年9月9日—2024年10月11日

驗收公示-蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有（yǒu）限（xiàn）公司年產芯片3億件、光電器件100萬（wàn）件、光學模（mó）塊5萬件、光電係（xì）統1000台項目.pdf

蘇州長光（guāng）華芯半導體激光（guāng）創新（xīn）研究（jiū）院有限公司-驗收意見.pdf